臭氧是一种带有鱼腥味的强氧化性气体，在室温下可还原成氧气，它的比重比氧气大，易溶于水，易分解。臭氧具有很强的氧化性和杀菌性，是强氧化剂之一，在水中的氧化还原电位仅次于氟。同时臭氧反应的产物是氧气，所以臭氧是一种高效无二次污染的氧化剂。
在工业生产中，臭氧经常被用来对水进行消毒和净化。但由于臭氧的氧化能力很强，水中残留的臭氧如不去除，可能会影响下一道工序。因此，臭氧处理过的水在进入主工艺之前必须被去除残留臭氧。
波长为254纳米的UVC段紫外线对破坏残余臭氧非常有效。它能将臭氧分解成氧气，分解后的最终产物是氧气，而不会向水中添加新的元素。但需要注意的是，在选择低压或中压紫外线汞灯等除臭氧设备时，在剂量选择上存在差异。
紫外线照射剂量和臭氧投加量相同的情况下，进水臭氧浓度越高，处理效果越明显。这是因为当水中臭氧浓度较高时，可生成更高浓度的羟基自由基，对有机物的氧化作用更彻底，因此处理效果也更好。由此可见，处理效果不仅与紫外线的照射剂量有关，还与进气中的臭氧浓度有关。紫外线灯紫外线剂量强度的监测可以使用紫外线传感器，工采网技术工程师推荐以下几款：
韩国GENICOM UV传感器/紫外线传感器- GUVCL-S10GD、GUVC-T11GD，氮化镓铝基材料，肖特基型光电二极管，光伏模式操作，良好的日盲性，可用于UV_C(265,270,280nm) LED灯监控。
韩国GENICOM紫外线传感器- GUVCL-T21GH，单供电电压工作，电压输出，高灵敏度和良好的日盲性，尺寸小巧紧凑，适用于纯UV_C监控、灭菌灯监控等。
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