紫外线准分子灯，是利用准分子气体比例，获得172nm、222nm或308nm等不同单色波长的高强度准分子紫外光。准分子发射的紫外光具有单光谱特性，窄的谱线和单色的紫外辐射光谱，使其可以使用更集中的功率进行光处理。
准分子是一种不稳定分子，是激光混合气体被外界能量激发时产生的一种分子状态。存在时间仅为几十毫微秒，然后马上通过自发辐射跃迁回到能量较小的状态辐射出光子,最后分解成原子。从束缚激发态向弱束缚基态转变的过程中，会产生紫外光子辐射，不同激发态的分子会产生不同波长的紫外光子。这些光子的能量通常在3.5—10 eV之间，足以打开大多数化学键。
使用氙气的准分子氙气灯产生的紫外线波长为126纳米、172纳米、222纳米、254纳米、308纳米等，波长单一，波长范围较窄。目前，172纳米的准分子灯需要充入氮气进行保护。UV涂料的光固化在工业上得到应用，紫外线照射到固体表面后，表面的污染物有机分子被强光能截断，被氧化，进而分解成氧、氢等挥发性物质，最后蒸发消失，被清洗表面的清洁度极高。
与传统的汞紫外线灯相比，准分子紫外线灯功率超强、靶向精准、无汞危害、环保、可回收、无二次污染。它具有反应面积大、反应时间短等优点，在微电子、医学、材料科学、生态环境保护等领域有着广泛而独特的应用。准分子灯紫外强度可以使用紫外线传感器监测，工采网代理了韩国GENICOM紫外线传感器- GFUV-T10GD-L，以氮化镓铝为基础的材料，schotky-type光电二极管，光伏模式操作，适用于远紫外线监测和准分子灯紫外线强度监控。
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