六氟化硫因其灵敏度高、无毒、性能相对稳定、检测技术和方法可靠、性质多样、含量低，常被用作环境保护和管理行业空气污染监测和水文地质问题研究的示踪剂。此外，六氟化硫作为一种高度稳定无毒的气体，也广泛应用于环境监测、微电子、冶金、医药、军工等行业。
在微电子工业中，六氟化硫（SF 6）适用于TFT LCD面板和半导体厂房的清洁和蚀刻工艺。在玻璃纤维生产的教学过程中，它也被用作掺杂光纤隔离掺杂的单层薄膜。回火和有色金属铸造的生产过程可以有效避免六氟化硫镁合金熔体和氧化物的影响，也可以用于铝及其合金的脱气和熔体净化。在制药行业，CnTI先进的方法是使用超声波造影剂，六氟化硫用作造影剂。
纯净的SF6气体虽然无毒，但在工作场所要防止SF6气体的浓度上升到缺氧的水平。我国规定,操作间空气中六氟化硫气体的允许浓度不大于6g/m3或空气中氧含量应大于18%;短期接触,空气中六氟化硫气体的允许浓度不大于7.5g/m3。为监测六氟化硫里的微量氧含量变化工采网推荐使用英国SST 荧光微量氧变送器 - LOX-TRACE-1000-BLX。
英国SST 荧光微量氧变送器 - LOX-TRACE-1000-BLX可以在任意氧浓度下工作，且不会损坏传感器，而且LOX-TRACE-1000-BLX对氧气具有高度选择性和灵敏度，寿命长，非消耗型技术–无需存储在惰性气体环境中，低功耗，高精度。在一些氧含量、氧分压的测试场氧气合非常具有优势。
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