标签: 催化燃烧型氢气传感器

针对半导体溅射工艺 “低压环境数据漂移、多气体干扰误报、高温场景稳定性差” 三大痛点，工采网建议采用双传感复合监测技术：融合 “催化燃烧 + 热导式” 双传感器，覆盖爆炸极限监测 0-100% LEL与高纯氢气纯度检测99.999%-100%全量程。其中催化燃烧氢气传感器快速响应，可快速捕捉 PVD 腔体泄漏的微量氢气(低至 0.1% LEL);热导式氢气传感器高分辨率，可以精准监测作为载气的高纯氢气纯度，确保薄膜沉积质量。