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极限电流型氧化锆氧气传感器在扩散炉氧化工艺中的应用

极限电流型氧化锆氧气传感器在扩散炉氧化工艺中的应用

扩散炉主要用于半导体材料的生产,其工作原理是基于扩散过程的物理和化学原理。扩散过程即是一种集体输运过程,即物质在气相或液相中从高浓度区域向低浓度区域的自发移动。... 继续阅读 »