薄膜沉积是在半导体的主要衬底材料上镀一层膜。这层膜可以有各种各样的材料,比如绝缘化合物二氧化硅,半导体多晶硅、金属铜等。用来镀膜的这个设备就叫薄膜沉积设备。薄膜... 继续阅读 »
用户名:
登录邮箱:
密码:
确认密码:
邮箱: