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光纤传感器在磁控溅射镀膜温度的监测

光纤传感器在磁控溅射镀膜温度的监测

磁控溅射(Magnetron Sputtering)是一种常见的物理气相沉积 (PVD) 工艺,具有速度快、温度低、损伤小等优点,其关键特点是使用一个磁场来控制... 继续阅读 »