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紫外线传感器用于紫外准分子灯清洁微电子产品时紫外辐射强度监测

紫外线传感器用于紫外准分子灯清洁微电子产品时紫外辐射强度监测

在工业领域作业中,最常用的准分子波长是172nm,其能量足以直接裂解所有有机分子的主要键,除了碳和氧之间的键和一些无机氧化物之间的键,这使其成为表面改性、光清洗... 继续阅读 »