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热导式气体传感器用于集成电路制造中电子气体浓度检测

热导式气体传感器用于集成电路制造中电子气体浓度检测

今日传感 传感器,解决方案 2022-03-24 16:28 0 600

近年来，随着电子行业的快速发展，电子气体在半导体行业中的地位日益突出。电子特种气体在集成电路制造中应用广泛，涉及很多制造环节。其中，惰性气体主要用作保护气体，常... 继续阅读 »