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MEMS制造技术及应用详解

MEMS是一种制造技术,诸如杠杆、齿轮、活塞、发动机甚至蒸汽机都是由MEMS制造的。相比于芯片制造业越来越被普通人熟知,而与芯片采用相同工艺的MEMS技术显得有... 继续阅读 »