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用于监测RTP快速退火炉氧含量的高温氧气分析仪

用于监测RTP快速退火炉氧含量的高温氧气分析仪

小小笔者 仪器仪表,解决方案 2023-10-17 11:08 0 113

RTP快速退火炉是一种高温热处理设备，将晶片快速加热到设定温度（超过1000℃的高温状态），进行短时间快速热处理的方法，从而控制材料的微观结构的可控调节和物理性... 继续阅读 »