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气体质量流量传感器在等离子体的流量控制应用方案
冷等离子体是等离子体的一种近似模型。是指它假定等离子体的温度为零,用来讨论热效应可以忽略的物理过程。冷等离子体，有时被称为非热等离子体或非平衡等离子体，是一种特... 继续阅读 »
变风量系统(VAV)流量控制解决方案
变风量（Variable Air Volume）空调系统是一种可以根据室内负荷需求变化或室内要求参数，通过改变送风量来调节室内温湿度的空调系统，特色是能够准确灵... 继续阅读 »
热式质量流量传感器在半导体生产过程中的流量控制技术方案
半导体生产过程中的某些工艺涉及气体与半导体基片的反应，比如沉积工艺和刻蚀工艺，气体的流量将对工艺结果产生重要影响。为了使生产的半导体获得较高的良品率，必须对流入... 继续阅读 »
