标签: 真空度检测

在半导体器件的制造过程中，各种真空处理室通常用于执行特定的处理，例如薄膜沉积、蚀刻、氧化或氮化、热处理等。在真空环境中待处理的半导体衬底上。另一方面，将半导体衬... 继续阅读 »