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热导传感器用于真空负载锁真空度检测

热导传感器用于真空负载锁真空度检测

今日传感 传感器,解决方案 2022-06-22 15:33 0 396

在半导体器件的制造过程中，各种真空处理室通常用于执行特定的处理，例如薄膜沉积、蚀刻、氧化或氮化、热处理等。在真空环境中待处理的半导体衬底上。另一方面，将半导体衬... 继续阅读 »