标签: IST流量传感器

热式MFC/MFM，也就是热式质量流量控制器，是一种用于通过测量流体的质量流量来控制流量的设备。在终端应用中，MFC的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，甚至会损... 继续阅读 »

质量流量控制器，即 Mass Flow Controller(缩写为MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流... 继续阅读 »