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标签: 质量流量控制器

PECVD气体及流量控制系统中质量流量控制器的应用

PECVD气体及流量控制系统中质量流量控制器的应用

在半导体制造行业,精密工艺控制对于确保产品质量和提升生产效率非常重要。等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术作为一项关键技术,在薄膜沉积工艺中扮演着重要角色... 继续阅读 »

气体质量流量控制器MFC4000在氢燃料电池中的应用

气体质量流量控制器MFC4000在氢燃料电池中的应用

燃料电池简介及气体流量控制的重要性 氢燃料电池是将氢气和氧气的化学能直接转换成电能的发电装置。其基本原理是电解水的逆反应,把氢和氧分别供给阳极和阴极,氢通过阳极... 继续阅读 »

一氧化氮治疗仪质量流量控制器MFC2000

一氧化氮治疗仪质量流量控制器MFC2000

一氧化氮(no)是一种信号分子,其具有控制血流、控制炎症、控制细菌、病毒和真菌感染、刺激组织和胶原再生以及动员干细胞迁移的公认的能力。1987年美国和英国的两个... 继续阅读 »

IST流量传感器在质量流量控制器中的应用

IST流量传感器在质量流量控制器中的应用

热式MFC/MFM,也就是热式质量流量控制器,是一种用于通过测量流体的质量流量来控制流量的设备。在终端应用中,MFC的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降,甚至会损... 继续阅读 »

气体质量流量计在质量流量控制器中的应用技术方案

气体质量流量计在质量流量控制器中的应用技术方案

质量流量控制器是一种新型流量计量、监控仪表,也是一种无须温度、压力补偿就能方便而且监测在管道中流动的不同气体。其工作原理是将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大... 继续阅读 »

在质量流量控制器的应用中IST流量传感器的作用      

在质量流量控制器的应用中IST流量传感器的作用      

质量流量控制器,即 Mass Flow Controller(缩写为MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流... 继续阅读 »