在半导体、液晶面板（TFT-LCD）、LED以及光伏（PV）等高科技产业的精密制造中，高纯度异丙醇（High-purity Isopropyl Alcohol, IPA）拥有重要作用。高纯度异丙醇是一种纯度达99.9%以上的电子级有机溶剂，IPA凭借卓越溶解能力和良好的挥发性能，广泛应用于晶圆清洗后的干燥工序中，可高效去除水痕与微粒，是芯片、磁头等精密元器件制造中良品率不可或缺的“超净清洗剂”。
为什么要监测IPA泄漏？
虽然IPA在清洗工艺中不可或缺，，但IPA的大量使用也带来了不容忽视的安全隐患，IPA作为挥发性有机化合物（VOC），不仅会对大气环境造成污染，还可能对操作人员的健康产生危害。随着晶圆厂产能的扩张,IPA的使用量明显增加，其挥发泄漏不仅构成严重的安全隐患，还面临日益严格的环保排放管控。因此，建立一套高灵敏度、响应迅速的IPA蒸气在线监测体系，已成为半导体工厂EHS（环境、健康与安全）管理的核心环节。
核心监测技术：PID光离子传感器
针对IPA泄漏监测的高标准要求，推荐使用英国Alphasense公司研发的PID-AH5光离子化传感器。这是一款专为检测挥发性有机物（VOCs）设计的PPB级高精度传感器。
该传感器是一款简单的即插即用式传感器，能在多种不同应用中对数千种挥发性有机物（VOCS）提供动态且可靠的响应。该传感器专为扩散式和在线式泵吸式设计，提供出色的响应时间和清除率，采用特殊亮度和稳定性的灯泡，能够在较长时间内可靠地检测挥发性弱和不易检测的化合物。
PID-AH5传感器关键技术参数：
检测原理：光离子化检测（PID）
线性范围：1ppb-40ppm（以异丁烯计）
响应速度：T90 < 2秒（极快响应）
典型灵敏度：50mV/ppm
紫外灯能量：10.6eV
功耗：80mW-200mW（取决于供电电压）
供电电压：3.2-5.5VDC
输出信号：0.040-2.85V
转载请注明出处：传感器应用_仪表仪器应用_电子元器件产品 – 工采资讯 http://news.isweek.cn/46537.html
