皮拉尼真空计传感器MTCS2306-20是专用MEMS器件，根据皮拉尼原理进行热导率测量，为小型TO5-4金属封装。该传感器采用镍铂电阻MEMS技术， 将一个大微机械低应力氮化硅膜、两个加热用薄膜电阻以及体硅上的两个补偿用参考电阻，集成在微型封装中。此MEMS结构结合了用于电源和温度分析的简单CMOS标准集成电路，是要求超低功耗、出色信噪比以及耐腐蚀气体的尺寸关键真空OEM传感解决方案的合适之选。
在真空镀膜、半导体制程、精密仪器、科研实验等诸多领域，真空度的精准测量，是设备稳定运行、产品品质达标、实验数据可靠的核心前提。传统皮拉尼真空传感器常存在精度漂移、温漂干扰大、重复性差、安装繁琐、功耗过高等痛点，极易造成测量数据偏差、设备调试受阻、生产良率下降等问题，已经难以适配半导体、真空镀膜、检漏设备的严苛OEM需求。
深耕精密传感技术的瑞士Neroxis品牌，依托成熟的MEMS微机械工艺，推出MTSC2306-20皮拉尼真空计专用传感器，MTCS2306-20 是带 20μm 硅盖气隙的MEMS皮拉尼传感器，TO5-4金属封装，芯片内部集成镍铂薄膜加热电阻与参考补偿电阻，依靠硅微加工形成固定的 20μm 间隙，以此优化粗真空到低真空区间的热传导检测灵敏度，适配基于恒定过温模式的皮拉尼电路架构，不需要复杂的外部温度补偿器件。和无盖版本相比，20μm 气隙结构可以改善中高压段（靠近大气压侧）的信号输出，拓宽有效测量区间，解决很多微型皮拉尼芯片在几百毫巴到大气压区间灵敏度衰减明显的痛点，专为恶劣工艺工况打造，为工业皮拉尼真空计提供高可靠国产化替代核心传感方案，成为中高端真空测量场景的优选核心配件。
产品核心优势
1、金触点化学耐受，适配氢气与腐蚀气体区别于 MTCS2305 -20 铝触点版本，MTCS2306 -20 全部键合触点采用金材质，化学惰性强，抵御氢脆、工艺副产物腐蚀，解决铝触点在氢气氛围下长期工作性能漂移、触点劣化失效问题，大幅延长传感器在特殊工艺气体下使用寿命，是含氢工况的必选型号。
2、20μm硅盖结构，优化常压区间灵敏度标配 20μm 间隙硅保护盖，重点提升100 -1000 mbar（粗真空至常压）区段测量灵敏度；测量量程覆盖10⁻4~ 1000 mbar，兼顾粗真空、低真空测量，完美覆盖皮拉尼规主流工作区间，裸芯片、10μm 气隙版本可按需选型。
3、极速响应、低功耗、强抗冲击，响应时间＜30 ms，真空抽速变化实时捕捉；整机功耗＜5 mA@5V，适配便携式检漏仪、小型真空设备；MEMS 微结构抗冲击大于 1000G，震动工况下性能稳定，传感器< 0.1 cm3的超小传感器气体体积，气体置换速度快，无滞后问题。
典型应用场景
1.半导体设备：负载锁、溅射设备、工艺腔体前级真空监测，氢气工艺腔体真空测量
2.真空镀膜：磁控溅射、蒸发镀膜设备粗 / 低真空监控
3.检漏设备：氦检、氢示踪检漏仪、便携式真空检漏仪器
4.科研工业装备：真空炉、冻干设备、氢气处理系统、特种真空成套设备
5.皮拉尼真空计：国产真空计厂商核心传感芯体，替代进口传统皮拉尼规管
综合来看，MTCS2306-20 非常适合追求小型化、低功耗、高抗震的 OEM 皮拉尼真空计开发。芯片本身已经把敏感热丝、温度补偿电阻、优化气隙结构全部集成，降低整机开发难度，厂商只需要做好外围电路、密封防护与软件标定，就可以产出性能稳定的微型皮拉尼真空探头，是替代传统钨丝规管的成熟 MEMS方案。
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